Dünne Schichten

Unter dünnen Schichten, Dünnschicht oder Film (thin films, auch thin layer) versteht man Schichten fester Stoffe mit Dicken im Mikro- beziehungsweise Nanometerbereich. Diese dünnen Schichten zeigen oft ein physikalisches Verhalten (Festigkeit, elektrische Leitfähigkeit usw.), das von dem massiver Körper aus demselben Material abweicht. So können auch Eigenschaften erreicht werden, die sonst nicht vorhanden sind. Dünne Schichten werden in der Oberflächenveredelung sowie der Mikroelektronik eingesetzt.

Dünne Schichten werden z. B. durch Sputtern oder Molekularstrahlepitaxie (MBE) hergestellt bzw. aufgedampft. Die Methoden des Auftragens von dünnen Schichten bzw. das diesbezügliche Fachwissen wird als Dünnschichttechnologie bezeichnet, der Begriff steht jedoch im Besonderen für mit dieser Technologie gefertigte passive elektronische Bauelemente.

Dünne Schichten lassen sich häufig nur bis zu einer bestimmten Schichtdicke herstellen. Stärkere Schichten können so hohe Eigenspannungen entwickeln, dass sie abplatzen würden.

Quellen

• Werner Bausch, Frank L. Pedrotti, Leno S. Pedrotti: Optik für Ingenieure. Grundlagen. Springer, Berlin 2005, ISBN 3-540-22813-6.